igzo是什么型半导体

igzo是什么型半导体

是铟镓锌氧化物型半导体。传统的非晶硅薄膜晶体管和有机薄膜晶体管已经很难满足要求,以铟镓锌氧化物(IGZO)为代表的透明非晶氧化物半导体(TAOS)具有迁移率高、均一性好、透明等优点,将有望成为下一代显示技术中薄膜晶体管的有源层材料。作为TFT的核心部分,有源层的成膜质量、厚度等因素直接影响到薄膜晶体管的器件性能,所以对IGZO-TFT有源层的研究具有重要的意义。