厂家 型号 能量（KEV） 注入厚度 注入角度
Axcelis 6200 10 - 200 3" - 150mm 0° - 10°
Axcelis 6200AV 10 - 200 3" - 150mm 0° - 60°
Varian E220 10 - 200 3" - 200mm 0° - 60°
Varian E500 10 - 250 150 - 200mm 0° - 60°
6200ER 3 - 200 2" - 200mm 0° - 10°
Axcelis GSD 200E 1 - 180 150mm -10-+10
Axcelis GSD 200E 1 - 180 200mm -10-+10
Axcelis NV10-180 10 - 180 2" - 150mm 0° / 7°
NV/HE 200 - 600 2" - 150mm 0° / 7°
